泵的細(xì)節(jié)也不同，如制造公差，密封材料，壓力，流量，進(jìn)氣或不允許油蒸汽，維修間隔，靠譜性，灰塵耐受性，化學(xué)品耐受性，液體耐受性和振動(dòng)。三葉型羅茨真空泵可以通過(guò)增加容器的體積來(lái)產(chǎn)生部分真空。為了在不需要生長(zhǎng)的情況下繼續(xù)抽空腔室，可以重復(fù)地關(guān)閉，排出和再次膨脹真空室。這是正排量泵的原理，例如手動(dòng)水泵。在泵里面，一個(gè)機(jī)構(gòu)擴(kuò)展了一個(gè)小的密封腔，以將其壓力減少到力以下。由于壓力差，來(lái)自腔室（或在我們的示例中的井）中的一些流體被推入泵的小腔中。然后將泵的腔體與腔室密封，向開(kāi)放，并擠回到微小尺寸。橡膠和塑料密封的活塞泵系統(tǒng)的基礎(chǔ)壓力通常為1至50 kPa，而渦旋泵可能達(dá)到10 Pa（新的時(shí)候），帶有清潔且空的金屬腔的旋轉(zhuǎn)葉片油泵可達(dá)到0.1霸。正排量真空泵在每個(gè)中移動(dòng)相同體積的氣體，因此其泵送速度是恒定的，除非通過(guò)回流克服。在動(dòng)量傳遞泵中，氣體分子從真空側(cè)加速到排氣側(cè)（通常通過(guò)正排量泵保持在減壓下）。動(dòng)量傳遞泵送可在約0.1kPa的壓力下進(jìn)行。根據(jù)流體動(dòng)力學(xué)定律，物質(zhì)在不同壓力下的流動(dòng)方式不同。在壓力和溫和的真空下，分子相互作用并以所謂的粘性流動(dòng)推動(dòng)其相鄰分子。當(dāng)分子之間的距離增加時(shí)，分子與腔室的壁相比與其他分子相比比較頻繁地相互作用，并且分子泵送變得比正位移泵送有成效。這種制度通常被稱(chēng)為高真空。